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研討會論文
學年度2012
論文名稱(篇名)Investigation of Substrate Rotation on the Flow Field in a Chemical Vapor Deposition Chamber Using Particle Image Velocimetry
會議名稱24th International Cryogenic Engineering Conference
會議開始時間2012-05-14
會議結束時間2012-05-18
發表年度2012
作者中文名劉耀先
作者英文名Yao-Hsien Liu
全部作者Tseng, L.W., Wang, C.S., Liu, Y.H., Wang, C.C., Huang, C.Y., Chen, C.C., Lin, K.L.
會議地點Fukuoka, Japan
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